News

  • 2025.12.01
    ECTC2026の採択通知が届きました。共著も含めて当研究室から13件の論文が採択されました。Congratulations! 来年のディズニーワールドが楽しみですね。 Advanced Programの公開は2月末以降です。 詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年12月17-19日にSEMICON Japan2025が東京ビッグサイトで開催されます。福島教授が17日の9:40-10:20にSTSパッケージングセッション: 異種チップ集積に向けた微細接合・微細回路形成技術で招待講演、また、19日の13:00-14:30に若手技術者に向けた後工程概論 IIで若手向けのセミナー、16:00-16:10では半導体テクノロジーシンポジウム【第二部】グローバル展開企業の半導体戦略でリードを行います。講演題目はそれぞれ、「チップ・トゥ・ウェハ(CtW)ハイブリッドボンディング」、「最新の先端パッケージ技術トレンド」です。
    ◆12/17 9:30 STSパッケージングセッション
    ◆12/19 13:30 半導体テクノロジーシンポジウム 2025
    ◆12/19 14:00 若手技術者に向けた後工程概論II
  • 2025.11.04
    2025年12月4日(木)に福島教授がドイツのChemnitzで行われる接合技術の国際会議WaferBond 2025でKeynote Talkを行います。講演題目は、「Heterogeneous 3D Integration with Meta Bonding」です。 詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年12月2日(火)に福島教授の代理でMurugesan博士がボストンで行われる2025 MRS Fall Meeting & ExhibitのSymposium EL10-Materials for Heterogeneous Integration and Advanced Packagingで招待講演を行います。講演題目は、「Materials & Processing for Chip-to-Wafer Hybrid Bonding」です。 詳細はこちら
    EL10 Program_with BN abstracts(PDF)
  • 2025.11.04
    2025年11月26日(水)に福島教授が東京八重洲のベルサール2階で行われる(独)日本学術振興会 R052 DXプラズマプロセス委員会 第13回研究会『半導体中工程/後工程を支えるDXとプラズマ技術』で招待講演を行います。講演題目は、「チップレット集積最前線」です。 詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年11月25日(火)に福島教授がJR四ツ谷駅前の主婦会館プラザエフで行われる一般社団法人半導体産業人協会(SSIS)主催の2025年度11月度フォーラムで招待講演を行います。講演題目は、「先端半導体パッケージングのイノベーション」です。 詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年11月12日(水)に福島教授がライトキューブ宇都宮で行われる第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(第17回 集積化MEMSシンポジウム)で基調講演を行います。講演題目は、「チップレット集積技術フロンティア」です。 詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年11月11日(火)に福島教授がプサンで行われるKorean International Semiconductor Conference on Manufacturing Technology (KISM 2025)でPlenary Talkを行います。講演題目は、「Advanced Packaging Technology with Cu-Cu Hybrid Bonding」です。 詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年10月31日(金)に福島教授が監修した3D半導体実装技術(出版社: エヌ・ティー・エス)が発刊されました(定価72,000円、約350頁)。序論では、福島教授が、「三次元積層技術の展望と課題」について執筆しています。執筆にご協力いただきました約40名の先生方、企業の方々、お忙しいところお時間頂きまして誠にありがとうございました。 詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年10月30日(木)にフォトポリマー懇話会 第267回講演会で福島教授が招待講演を行ないました。講演題目は、「チップレット集積を牽引する感光性材料/非感光性材料」です。 詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年10月20日に2025 UAAT-KOOU Advanced Semiconductor Packaging Workshopが国立台湾科技大で行われました。UAAT-KOOUは、台湾の大学群学術プラットフォームである「The University Academic Alliance in Taiwan(UAAT)と九州・沖縄オープンユニバーシティ(KOOU)」の国際連携プロジェクトです。福島先生がクロスアポイントメント教授を務める熊本大学もこのKOOUの一員です。当研究室からハイブリッド接合やTSVに関する4件の発表を行いました。D1の田中君がOutstanding Presentation Award、M1の佐々木君がOutstanding Poster Awardを受賞しました。
    2025 UAAT-KOOU POSTER TIMELINE(PDF)
    UAATKOOU oral timeline(PDF)
    また、台湾で毎年行われる半導体パッケージングの国際会議IMPACT (International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference)にも参加してきました(11/21-11/23)。
  • 2025.11.04
    2025年10月17日(金)にくまもと3D連携コンソーシアム第4回 三次元積層実装勉強会[初級コース]で講義を行ないました。
    ■13:35-14:35(60分)三次元実装工学概論① テーマ:三次元積層実装
    ■14:45-15:45(60分)三次元実装工学概論② テーマ:TSV形成技術
    ■15:55-16:55(60分)三次元実装工学概論① テーマ:三次元積層実装適用事例
    詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年9月26日、福島教授が共同研究をしている東大のグループと開発した直交積層MOSAIC (Massive Orthogonal Stacking Assembly of IC)の記事「GPUとHBMを3D積層 東京大学など、チップを立てて放熱10倍」が報道されました。ECTC2025で発表された内容です。DOI: 10.1109/ECTC51687.2025.00227 詳細はこちら
  • 2025.11.04
    2025年9月25日に東北大学の9月卒業生の学位授与式が行われ、当研究室から1名が修士(工学)を取得しました。田中徹研の学生さんと記念撮影です。

About Us

当研究室では、次世代の半導体実装技術の革新に向けて、3次元積層型集積回路(3D-IC)およびフレキシブル・ハイブリッド・エレクトロニクス(FHE)の研究開発に取り組んでいます。
3D-ICは、異なる機能や材料を持つ半導体チップを垂直方向に積層し、「シリコン貫通ビア(TSV)」によって接続することで、高密度化・省電力化・小型化を同時に実現する先進的な技術です。当研究室では、東北大学の300mmウエハ対応3D-IC試作製造拠点「GINTI」を活用し、世界的にも競争力のある研究を展開しています。さらに、米国UCLAとの国際共同研究を通じて、フレキシブル基板上への3D-IC技術の展開にも取り組んでいます。これにより、ウェアラブルデバイスや生体情報センシングといった次世代の電子機器への応用が期待されています。
産学連携にも力を入れており、材料メーカー、装置メーカー、半導体設計企業などとの共同研究を推進しています。クリーンルームを中心とした実験・試作環境を活用し、3D-ICおよびFHE技術の実用化と社会実装を目指しています。機械工学・材料工学・電気電子工学を横断した「半導体実装工学」を通じて、次世代の電子機器の可能性を切り拓く研究に挑戦しています。